Описание
VCM600 V4 оснащена следующими дополнительными опциями:
- Два источника испарения с селекторным переключателем для последовательного или сов-местного испарения;
- Держатель подложки с возможностью вращения со скоростью 0-40 об/мин;
- Электромагнитный затвор с регулируемым положением для контроля толщины напыляемого слоя;
- SQM-160 – двухканальный кварцевый измеритель толщины с одной охлаждаемой водой го-ловкой.
Система VCM 600 V4 имеет практически максимальную комплектацию, возможную для компактных настольных систем такого типа. Её возможностей достаточно для практически любых задач, решаемых с помощью метода терморезистивного испарения.
Дополнительные опции
- Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
- Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
- Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
- D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
- Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
- Ручной затвор для VCM600
- Электромеханический затвор
- Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
- Форвакуумный насос
- Комплект термопар.
- Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
- Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
- Адаптер для микроэлектронных лодочек
- VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
- VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)
