Вакуумная система VCM 600 V3 Rack, SP3_SS и SP3-Glass

Описание

Напольное исполнение системы VCM 600 V3 имеет характеристики, подобные настольной си-стеме, но в другом корпусе. Также в стандартную комплектацию включен SQM-160 – 2 ка-нальный кварцевый измеритель толщины с одной охлаждаемой водой головкой. Стандартный источник питания позволяет работать с токами до 250А в непрерывном режиме и до 300А в режиме «вспышки».
Системы SP3_SS и SP3_Glass имеют уже три источника испарения (ток в непрерывном режиме – 150А), в остальном они идентичны системе V3 Rack.
Исполнение V3 Rack является базовым для напольных систем. Все напольные системы имеет тот же набор опций, что и настольные варианты.

Дополнительные опции

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
9. Форвакуумный насос
10. Комплект термопар.
11. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
12. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
13. Адаптер для микроэлектронных лодочек
14. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
15. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)