Вакуумная система VCM 600 V3 GB

Описание

VCM 600 V3_GB представляет собой специальный тепловой испаритель, предназначенный для присоединения к перчаточной камере (Glove Box, GB). Вакуумная камера из нержавеющей стали и стойка для инструментов размещаются под перчаточной камерой. Полезный объем внутри перчаточной камеры практически не используется - только плоская дверца из нержавеющей стали, установленная на нижней плоскости перчаточной камеры. Возможно подключение как к новой, так и имеющейся у пользователя GB.
Сама вакуумная камера может иметь различную конфигурацию, дополнительные вакуумные порты и т.п. Она прикрепляется к перчаточному ящику снизу с помощью специального адаптера для обеспечения герметичности. На боковой стенке камеры установлена дверца из нержавеющей стали со стеклянным смотровым окном, через которую загружаются материалы для испарения и выполняется очищение камеры. Через дверцу внутри GB пользователь имеет до-ступ к держателю подложки для загрузки/выгрузки образцов и вентиляции камеры газом.

Дополнительные опции

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
9. Форвакуумный насос
10. Комплект термопар.
11. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
12. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
13. Адаптер для микроэлектронных лодочек
14. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
15. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)