Вакуумная система VCM 600 (Basic, V1, V2 и V3) в настольном исполнении

Описание

VCM 600 — это надежная, быстрая, мощная, простая и универсальная вакуумная система термо-резистивного испарения с возможностью конфигурирования. Несмотря на то, что модель имеет небольшие габариты – она является полноценной системой терморезистивного испарения. Плавное регулирование интенсивности тока позволяет точно контролировать температуру источника.
Высокая стеклянная вакуумная камера позволяет создавать тонкие пленки металлов или дру-гих материалов с высокой однородностью - 95% и 92% на подложках диаметром 10 и 20 см со-ответственно. Стеклянный колпак выполняется из боросиликатного стекла с защитной меха-нической сеткой. Возможно исполнение, в котором стеклянный колпак может быть заменен на вакуумный кожух из нержавеющей стали диаметром 30 см и высотой 45 см.
Версия V1 является стандартной. Версия Basic отличается отсутствием турбомолекулярного насоса, а V2, в отличие от V1, имеет дополнительный ручной затвор для регулировки толщи-ны напыления. Все эти системы имеют только один источник испарения в стандартном исполнении, в то время как в V3 установлено уже два источника испарения с селекторным переключателем для последовательного или совместного использования

Комплект поставки

• Один (для версий Basic, V1 и V2) или два (для V3) испарителя с 2-мя высокоточными про-водами из бескислородной твёрдотянутой меди
• Плита из высококачественного алюминия с шестью (V1 и V2) либо восемью (V3) 1-дюймовыми портами
• Порт откачки вакуумной камеры, NW 100, с защитной сеткой
• Турбомолекулярный откачной пост (80 - 100 л/с), с защитным термокарманом, вакуумным датчиком Pirani и контроллером, а также масляным форвакуумным насосом (кроме версии Basic)
• Вакуумный колпак PYREX (диаметр 12'', высота 18") из боросиликатного стекла с защитной металлической сеткой, либо вакуумная камера из нержавеющей стали диаметром = 30 см, высотой = 45 см с механическим механизмом перемещения (стандартна для версии V2 SS)
• Блок управления мощностью нагрева (PCU) в составе:
  
  • Высоковольтный источник питания переменного тока 150А непрерывный (до 200А – на короткое время) (2 шт. для версии V3)
  • Измеритель тока (на каждый канал)
  • Система защиты от короткого замыкания (на каждом канале)
  • 0–100% регулирование тока нити или лодочки (независимое для каждого канала)
  • Максимальная температура накаливания: 1800 °С (для вольфрамовых лодочек)
  
  
• Круглый держатель основания из нержавеющей стали, диаметром 10 см, с держателями для образцов
• Возможность регулирования расстояния от образца до держателя подложки (мин. 15 см)
• Вентиляционный клапан (ручной)
• Разъемы для подключения воды (вход-выход)
• Для версии V2: ручной затвор с регулируемым положением

• 5.0×10^-6 гПа со стандартным (80—100 л/с) турбомолекулярным насосом
• 1.0×10^-6 гПа - с опционально доступным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки 300 л/с.
  В любую систему можно добавить какие-либо опции. Набор доступных опций – в конце брошюры.

Дополнительные опции

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения 1.2 Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
9. Форвакуумный насос
10. Комплект термопар.
11. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
12. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
13. Адаптер для микроэлектронных лодочек
14. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
15. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)